压力建立法适用于配备独立抽气和测量真空装置的系统，核心在于通过监测系统内压力的变化来计算泄漏量，这种方法不仅直观，而且能够提供的泄漏量数据。在某些情况下，通过系统的抽速来评估密封性，方法的灵敏度可达到10⁻³mm³·MPa/s，这种高灵敏度使得压力建立法成为检测真空系统泄漏的可靠工具。
压力建立法操作步骤
断开泵送设备：将测试真空系统与泵送设备断开。
构建压力变化图表：记录系统内压力随时间的变化。
计算泄漏量：根据系统的体积和一段时间内压力的变化（Δp/Δt），可以轻松计算出泄漏量。
泄漏与气体释放的区分
在测试过程中，区分泄漏和气体释放是关键。以下是一些辅助标志：
液氮测试：将液氮倒入冷却的泵疏水阀中，对泄漏真空系统中的压力影响不大，但会降低通气系统中的压力。
长期泵送观察：在长期泵送过程中，由于物体壁的脱气，压力会缓慢降低。如果在系统中存在泄漏，这种现象不会发生。
压力快速上升：如果在长时间抽出的隔离系统中，压力增加到接近大气压的值，并且在打开机械泵时发出特征性的吱吱声，通常表明系统中存在泄漏。
如果确定了泄漏和气体排放的存在，测试应从检测泄漏开始，因为消除泄漏的程序涉及打开系统。然而，对于在气体释放的情况下难以检测到的小泄漏，在消除大泄漏后，有必要对物体进行脱气，然后重复泄漏检测过程。
测试物质的选择
在压力建立测试中，可以使用各种液体或气体作为测试物质：
液体测试物质（如乙醚、丙酮、酒精）：效果更佳，因为即使少量测试液体通过泄漏渗入真空系统，在真空中蒸发，也会急剧增加系统中的总压力。
液体测试物质的缺点：液体通过毛细管上升（对于小泄漏）需要很长时间（长达几个小时）。因此，真空计可能在检查产品表面的另一部分时对测试物质做出反应，导致对泄漏位置产生错误的概念。为了确保正确检测到泄漏，有必要去除测试物质并在建立系统中的压力后重复测试。
气体测试物质：由于气体的高穿透力，设备对测试气体外观的反应几乎立即发生，增压法的灵敏度为0.1...0.01mm³·MPa/s。尽管与气态样品物质一起工作的效果较差，但由于其快速反应特性，这种方法仍然非常有效。
